Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

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更新時間：2026-01-09

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產品介紹

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產品，可實現對設備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內。產品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、醫療和精密實驗室溫控方案。主要部件均采用國際的品牌，產品穩定性高。循環系統包括循環泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

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